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楼主: hanhao4668

俄罗斯公布 EUV 光刻路线图

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Onecq678
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[LV.6]风云使者
发表于 2026-1-29 09:23:01 | 显示全部楼层
强烈支持楼主ing…无私分享资源，给宝书友增添加瓦！
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十多个1
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[LV.10]炽天使
发表于 2026-1-29 09:40:32 | 显示全部楼层
该方案采用不同于 ASML 的技术架构，使用氙等离子体光源和钌/铍反射镜，避免锡滴光源带来的碎屑问题。研发团队称，这将降低复杂度和维护成本，并覆盖 65 至
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